ADVANTAGE
-Mega30Ultrasonic Cleaner
主な特徴 FEATURES
高周波により、ダメージレスでサブミクロンまでのパーティクルを除去します。 1 MHz以上はキャビテーションの発生がほとんどなく、圧壊現象によるダメージがありません。
デジタル制御発振器で低出力時の出力の安定性が格段と向上し、ダメージレス洗浄性が向上しました。
掛け流しなのでパーティクルの再付着がありません。
シリコンウェハーの枚葉洗浄、HDD等部品の洗浄に最適です。
(NOTE)
１．この発振器は、振動子とのマッチング調整が不要な為に振動子交換時の調整は不要です。
（但し、振動子はシリアル番号で管理し、同じ特性のものを製作して交換します。）
２．CEマーク規格適合品です。
機能紹介FUNCTIONS
１．シャワータイプ、石英ロッドタイプなど目的に応じた振動子選定が可能 ２．外部入出力標準装備により通信が可能 ・流量計（お客様ご用意）で空焚きを防止する接続端子付き ・アラーム発生出力 ・RS422通信を標準搭載し、遠隔管理が可能
製品仕様SPEC
発振器仕様
| 発振器名 | ADVANTAGE-Mega30 | ||
|---|---|---|---|
| 発振周波数 | 1 MHz | 1.5 MHz | 3 MHz |
| 型名 | UG0G001S | UG0H001S | UG0J001S |
| 周波数調整 | SWEEP発振 | ||
| スタート機能 | ソフトスタート（2秒） | ||
| アラーム | 振動子オープン・ショート、発振エラー | ||
| 外部通信 | RS422 | RS422 | RS422 |
| 外部駆動接点 | 入力接点DC 12V 16 mA / アラーム出力接点：DC 24 V 0.5 A | ||
| 電源 | 1ΦAC100〜220 V、50/60 Hz、300 VA | ||
| 最大出力 | 30 W | 30 W | 30 W |
| サイズ | W210×Ｈ125×D250 mm | ||
| 重量 | 2.8 kg | 2.8 kg | 2.8 kg |
| 使用可能雰囲気 | 5〜40℃ | ||
| 使用可能湿度 | 10〜85％ RH | ||
| 組合せスポットシャワー | UM0G001S | UM0H001S | UM0J001S |
振動子仕様
| 名称 | スポットシャワー 15W,1MHz | スポットシャワー 15W,1.5MHz | スポットシャワー 15W,3MHz | 石英ロッド 15W,1MHz |
|---|---|---|---|---|
| 型名 | UM0G001S | UM0H001S | UM0J001S | UM0G002S |
| 組合せ発振器 | UG0G001S | UG0H001S | UG0J001S | UG0G001S |
| 周波数 | 1MHz | 1.5MHz | 3MHz | 1MHz |
| 出力 | 15W | 15W | 15W | 15W |
| 流量 | 0.9〜1.5 L/min | 0.9〜1.5 L/min | 0.9〜1.5 L/min | 0.9〜1.5 L/min |
| 筐体サイズ | Φ25×80 mm | Φ25×92 mm | Φ25×92 mm | 48×78×H 92mm（楕円） |
| ノズル吐出口穴径 | Φ4 mm | Φ4 mm | Φ4 mm | Φ4 mm |
| ノズル材質 | PP, PCTFE, PTFE, 石英 | PP, PCTFE, PTFE, 石英,セラミック | PP, PCTFE, PTFE, 石英,セラミック | PP, PCTFE, PTFE, 石英,セラミック |
| チューブ外径 | 外径Φ6 mm | 外径Φ6 mm | 外径Φ6 mm | 外径Φ6 mm |
| 振動板材質 | タンタル、特殊セラミック | タンタル、特殊セラミック | タンタル、特殊セラミック | 特殊セラミック |
| 流体使用可能温度 | 20〜50℃ | 20〜50℃ | 20〜50℃ | 20〜50℃ |
| 使用可能雰囲気 | 5〜40℃ | 5〜40℃ | 5〜40℃ | 5〜40℃ |
| 使用可能湿度 | 10〜85% RH | 10〜85% RH | 10〜85% RH | 10〜85% RH |
